ГОСТ 25196-82

Все документы, представленные в каталоге, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей. Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений.
Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте без каких-либо ограничений.

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования


Обозначение стандарта:	ГОСТ 25196-82

Статус стандарта:	действующий

Название рус.:	Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Название англ.:	Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Дата введения в действие:	01.07.1983

Область и условия применения:	Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

	c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов c=&f2=3&f1=II001023&l='>23 ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ Измерение потока жидкости см. 17.120 c=&f2=3&f1=II001023160&l='>23.160 Вакуумная технология Включая вакуумные насосы c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов c=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь c=&f2=3&f1=II002019007&l='>Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники c=&f2=3&f1=II002019007001&l='>Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности