Все документы,
представленные в каталоге, не являются их официальным изданием и предназначены
исключительно для ознакомительных целей. Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких
ограничений.
Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте
без каких-либо ограничений.
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
| Обозначение стандарта: | ГОСТ 5.2105-73 |
| Статус стандарта: | действующий |
| Название рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
| Название англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| Дата введения в действие: | 01.09.1973 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов |
