ГОСТ Р 8.640-2008

Все документы, представленные в каталоге, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей. Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений.
Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте без каких-либо ограничений.

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки


Обозначение стандарта:	ГОСТ Р 8.640-2008

Статус стандарта:	действующий

Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Название англ.:	State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

Дата введения в действие:	01.01.2009

Область и условия применения:	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

	c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов c=&f2=3&f1=II001017&l='>17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ c=&f2=3&f1=II001017020&l='>17.020 Метрология и измерения в целом Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. Величины и единицы измерений см. 01.060 Химические эталонные материалы см. 71.040.30 c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов* c=&f2=3&f1=II002016&l='>Т Общетехнические и организационно-методические стандарты c=&f2=3&f1=II002016008&l='>Т8 Государственная система измерений c=&f2=3&f1=II002016008004&l='>Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы c=&f2=3&f1=II003&l='> Тематические сборники c=&f2=3&f1=II003008&l='>ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений.