ГОСТ Р 52250-2004

Все документы, представленные в каталоге, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей. Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений.
Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте без каких-либо ограничений.

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия


Обозначение стандарта:	ГОСТ Р 52250-2004

Статус стандарта:	действующий

Название рус.:	Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Название англ.:	Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Дата введения в действие:	01.01.2005

Область и условия применения:	Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

	c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов c=&f2=3&f1=II001071&l='>71 ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ c=&f2=3&f1=II001071080&l='>71.080 Органические химические вещества c=&f2=3&f1=II001071080099&l='>71.080.99 Органические химические вещества прочие c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов c=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь c=&f2=3&f1=II002019001&l='>Э1 Радиотехнические материалы c=&f2=3&f1=II002019001000&l='>Э10 Классификация, номенклатура и общие нормы